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主營產(chǎn)品: 光學(xué)設(shè)備、電子計測儀器、科學(xué)儀器、機械加工設(shè)備、環(huán)境試驗設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、物流保管用品、化學(xué)用品、FA自動化
產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品資料

化合物半導(dǎo)體用曝光設(shè)備
產(chǎn)品型號:MA-4000
簡介:

化合物半導(dǎo)體用曝光設(shè)備MA-4000 化合物半導(dǎo)體用曝光設(shè)備把涂有光刻膠的基板與掩膜重疊,光刻圖形的曝光裝置。為了實現(xiàn)多層曝光時的自動對位,裝配有顯微鏡和X?Y?θ對位臺。自動進行基板的供給、對位、曝光、排出。。

化合物半導(dǎo)體用曝光設(shè)備  的詳細(xì)介紹

化合物半導(dǎo)體用曝光設(shè)備MA-4000

深圳市京都玉崎電子有限公司
項目擔(dān)當(dāng):陳永康
電話:13717018123

Q  Q:2853007784

網(wǎng)址:www.qfzxw.com

化合物半導(dǎo)體用曝光設(shè)備

化合物半導(dǎo)體用曝光裝置(Mask Aligner)

把涂有光刻膠的基板與掩膜重疊,光刻圖形的曝光裝置。為了實現(xiàn)多層曝光時的自動對位,裝配有顯微鏡和X?Y?θ對位臺。自動進行基板的供給、對位、曝光、排出。

主要特長化合物半導(dǎo)體用曝光設(shè)備
  • 采用獨自的平行調(diào)整機構(gòu),能夠高精度地設(shè)定掩膜與Wafer間的近接間隙。
  • 利用獨自的高速圖像處理技術(shù),實現(xiàn)高精度的對位。
  • 利用圖像處理技術(shù),使預(yù)對位可對應(yīng)薄型基板或翹曲基板及水晶等易碎Wafer(選購項)。
  • 利用獨自的接觸壓力精密控制機構(gòu),能夠使Wafer與掩膜高精度地接觸。
  • 通過Wafer的背面真空吸著方式,實現(xiàn)高速度和高精度以及穩(wěn)定的自動搬送。
MA-4000裝置畫像
MA-4000タクトアップ機畫像
主要規(guī)格化合物半導(dǎo)體用曝光設(shè)備
  MA-4000
Wafer尺寸 ?2~4" ?4~6"
掩膜尺寸 □5" □7"
光源 超高壓水銀燈 :500W or 1kW
外觀尺寸及重量 本體尺寸 W1340 x D1430 x H1900mm
本體重量 1120kg
選購項 生產(chǎn)管理系統(tǒng)(D-Net)、背面對位、○□基板兼用

化合物半導(dǎo)體用曝光設(shè)備基板尺寸和水銀燈瓦數(shù)及特殊規(guī)格可商洽