RKC理化工業(yè)HA900, HA400 高速數字顯示控制器[過程∕溫度控制器] 實現1秒40次的超高速反饋控制! 精度±0.1%、可添加2通道控制處理、多存儲功能(通過利用設定變化率限幅器、區(qū)域鏈接、滲透時間實現簡易程序控制功能)、級聯控制功能、功率前饋功能、2系統(tǒng)通信接口等等各種功能。 *適合用于半導體制造過程中RTP(Rapid Thermal Process:急速加熱處理)操作 RKC理化工業(yè)FB900, FB400 數字顯示控制器[過程∕溫度控制器] 迷你機身(縱深僅為60mm),超高性能注重響應性和追蹤性的同時,又配備了具有2種PID控制功能的‘聰敏PID’根據用途不同,采樣周期可在0.05秒(高速采樣式)或0.1秒(標準采樣式)或0.25秒(高分辨率采樣式)間切換。精度±0.1%,可添加啟動演算功能(根據啟動時的溫度特性自動算出PID常數)、多存儲功能(通過利用設定變化率限幅器、區(qū)域鏈接、滲透時間實現簡易程序控制功能),利用控制器間通信的組運行功能(附帶學習功能的自動升溫、級聯控制、溫度比率設定、組運轉∕停止)、可實現高速數據收集的數據繪圖(MODBUS)等等多種功能。
※ 在加熱冷卻控制操作和位置比例控制操作時,不可追加 附帶學習功能的自動升溫功能。